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用平晶测量平面度误差时应如何评定?

最佳答案:

应用光学平晶测量小平面,测量时将平晶贴于被测表面上,若被测表面内凹或外凸,就会出现环形干涉带,根据环形干涉带数与光波的半波长的乘积来表示平面度误差。

如果干涉条纹不封闭,可使光学平晶与被测表面间略微倾斜个角度,使两者之间形成空气楔。这种按干涉带的弯曲度与相邻两干涉带之间的比值,再乘以半波长即得误差值。不过,按此法评定的误差实际上是以直线度误差代替了平面度误差。

过去用平晶只能测小平面。近年来有了平晶干涉仪,应用这种仪器也可以利用平晶干涉法来测量较大的平面。